이엘은 한국기계연구원(KIMM)과 “반도체-디스플레이 제조 공정 모니터링용 투과 기반 광 센서 기술”에 관한 기술실시계약을 체결,
해당 기술에 대한 이전이 완료되었으며 관련 특허와 노하우를 사용하여 제품 개발을 진행할 예정입니다.
개발 시제품은 2025년 10월에 개최되는 SEDEX에 전시, 홍보할 예정이며, 향후 국내외 반도체 및 디스플레이 제품생산업체를 대상으로
판매를 준비하고 있습니다.

본 실시기술은 대역 투과 필터와 투과 배경 신호를 검출하기 위한 광 센서 어레이를 사용하여 플라즈마 장치에서 방출되는 광신호를 검출하고
실시간으로 변동하는 적외선 배경신호 및 암전류 잡음을 제거, 순수 광신호의 세기만을 정량적으로 측정할 수 있는 장점을 가지고 있습니다.
일반적으로 사용되는 광경로의존 회절 방식의 광신호 파장 분산 측정 장비(ex, OES)와는 다르게, 투과 방식의 파장분산활용 광센서를 사용함으로써,
반도체와 디스플레이 제조 설비 내부의 열 또는 진동으로 발생되는 오차를 최소화할 수 있어 장기간 재현성 있는 공정 모니터링이 가능한 특징을 가지고 있습니다.

이번 기술실시권체결로 현재 반도체, 디스플레이 증착 및 식각공정의 실시간 모니터링이 가능해지며, 제조 Chamber의 생산성 향상에 많은 효과가 예상됩니다.

본 기술에 대한 더 자세한 문의는 이엘의 웹사이트내 온라인 문의나 유선으로 연락주시면 자세하게 안내해 드리겠습니다.
감사합니다.